프로젝트
단결정로 고효율 투입 및 도핑 인양 일체화 기술 연구 프로젝트
이 프로젝트는 단결정 실리콘 생산 공정에서의 단계별 투입 및 도핑 작업의 낮은 효율, 높은 손실, 불균일성, 로 본체 손상 등의 문제를 해결하기 위해 고효율 투입, 정밀 도핑, 지능형 인양을 통합한 협동 제어 기술 개발을 목표로 합니다. 투입 구조와 도핑 투입량 제어를 최적화하여 공정의 매끄러운 연계를 구현하고, 생산 효율 향상, 제품 품질 확보, 원가 절감을 도모합니다.
단결정로 도가니 트레이 인양 및 분해 보호 핵심 기술 연구
이 프로젝트는 단결정로 도가니 트레이 인양 시의 안정성 부족과 분해 과정에서의 취약성 문제에 중점을 두고, 고정밀 인양 및 전 공정 보호 기술을 개발합니다. 전달 구조와 폐루프 제어를 최적화하여 위치 오차를 ≤ 0.1mm까지 개선하고, 점진 냉각 및 유연 보호 시스템을 구축함으로써 국산 단결정로 장비의 성능을 향상시키고 실리콘 소재 오염 및 장비 손상을 방지합니다.
결정봉 균열 없는 절단 기술 연구
이 프로젝트는 결정봉 절단 과정에서 발생하는 모서리 파손, 균열 및 표면 손상 문제를 해결하는 것을 목표로 합니다. 정밀 힘 제어 절단 및 노치 완충 보호 기술을 개발하고, 공구 구조와 공정 파라미터를 최적화하며, 지능형 모니터링 시스템과 연계하여 모서리 손상과 균열이 없는 절단을 실현하고, 결정봉의 활용률과 노치 평탄도를 향상시키며, 후속 가공 비용을 절감합니다.
